OCD系列光学线宽量测-匠岭半导体 | ocd半導體
芯片制造商在28nm工艺节点以下引入finFETs三维电晶体结构，finFETs有着各种各样复杂的三维结构和而难以量测的薄膜，结构尺寸常常小于1埃(0.1纳米)。
OCD ...首页 ꁇ 光学线宽量测 ꁇ OCD系列光学线宽量测OCD系列光学线宽量测芯片制造商在28nm工艺节点以下引入finFETs三维电晶体结构，finFETs有着各种各样复杂的三维结构和而难以量测的薄膜，结构尺寸常常小于1埃(0.1纳米)。
OCD (OpticalCriticalDimension) 光学线宽量测应用于三维特征尺寸量测和复杂轮廓分析，可以提供CD-SEM或原子力显微镜AFM所无法提供的资讯，包括Footing、Notch、Undercut与SidewallAngle等结构细节，同时也能计算出蚀刻深度。
ꄴ上一个：无ꄲ下一个：无光学线宽量测TFT60-41넳넲 本网站由阿里云提供云计算及安全服务本网站支持IPv6 本网站由阿里云提供云计算及安全服务本网站支持IPv6 本网站由阿里云提供云计算及安全服务本网站支持IPv6 本网站由阿里云提供云计算及安全服务本网站支持IPv6
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OCD (OpticalCriticalDimension) 光学线宽量测应用于三维特征尺寸量测和复杂轮廓分析，可以提供CD-SEM或原子力显微镜AFM所无法提供的资讯，包括Footing、Notch、Undercut与SidewallAngle等结构细节，同时也能计算出蚀刻深度。
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